德國PI高精度線性平臺HPS-170

參考級線性平臺

交叉滾柱導軌帶來高運動精度和負載能力。精密滾珠絲杠。應力消除鋁基座可實現(xiàn)高穩(wěn)定性。機械限位開關。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學線性編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

小位移

結合SMC Hydra控制器，帶步進電機和集成線性編碼器的版本可在傳感器分辨率范圍內實現(xiàn)可重復的小位移。同樣的配置可實現(xiàn)幾傳感器增量每秒的恒定低速。

驅動器類型

·         電機軸上帶旋轉編碼器的閉環(huán)直流伺服電機

·         2相步進電機可實現(xiàn)高轉矩（即使低速時）和高分辨率

交叉滾柱導軌

對于交叉滾柱導軌，滾珠導軌中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱導軌還具有高導向精度和高負載能力的特征。力導向滾動體保持架防止保持架蠕變。

應用領域

樣本檢驗, 半導體技術, 計量, 激光打標, 真空

訂購信息

626291x00  帶直流電機和旋轉編碼器的線性平臺

626291x10  附帶線性編碼器

626292x00  帶步進電機的線性平臺

626292x10-0001 附帶線性編碼器

德國PI高精度線性平臺HPS-170